【北方华创】研究：PVD新产品、新工艺获突破，多个产品的市占率上升

杨绍辉陈祥陶波半导体设备与材料 2023-03-26

根据中国国际招标网，近日公司中标长江存储的12台工艺设备，包括3台PVD、3台硅槽刻蚀、4台退火设备、2台立式合金炉管。自2017年以来，北方华创累计中标长江存储56台工艺设备。

观点摘要：

公司首次中标3D NAND客户的 3台Cu BS PVD设备，打破Applied Materials独家垄断地位。2017年以来北方华创累计在3D NAND客户获得6台PVD订单，包括3台 Al pad PVD、3台Cu BS PVD。其中，公司在该客户的Al pad PVD设备采购中占100%，在该客户的Cu BS PVD占到21%，打破全球PVD市场被Applied Materials垄断的格局，且在Cu BS PVD获得重大突破。根据3D NAND客户对PVD设备的采购情况，Al pad PVD、Cu BS PVD、Hardmask PVD的采购比例依次为15%、70%、5%，结合多个中标数据，公司已实现Al pad PVD、Cu BS PVD、Hardmask PVD三类设备的订单突破，根据Gartner数据，PVD全球市场规模约为25亿美元。

公司再次获得3台硅槽刻蚀设备订单，居硅基刻蚀供应商第二位。2017年以来北方华创累计在3D NAND客户获得9台硅基刻蚀设备订单，包括8台硅槽刻蚀、1台多晶硅等离子蚀刻设备。其中，公司在该客户的硅槽刻蚀设备采购中占50%，在该客户的多晶硅等离子蚀刻占10%，打破全球硅基刻蚀市场被Lam Research等垄断的格局。根据3D NAND客户对硅基设备的采购情况，硅基刻蚀设备可分类为STI、栅极刻蚀、超深栅线槽、硅片刻蚀、多晶硅回刻、深沟槽隔离刻蚀等六大类，采购比例依次为38%、24%、14%、12%、7%、5%，结合多个中标数据，公司仅实现硅槽刻蚀、多晶硅栅极刻蚀等两道刻蚀工艺，但这两道刻蚀工艺设备需求在硅基刻蚀中占62%，即对应全球硅基刻蚀设备市场规模60亿美元，北方华创可覆盖两道刻蚀工艺的市场规模约为37亿美元。

公司在3D NAND客户近期的热处理设备采购中占比高达58%。2017年以来，公司在3D NAND客户累计中标39台热处理设备订单，占热处理总采购数量的35%，仅次于第一供应商TEL。但从2019年下半年至今的热处理采购数据看，北方华创的份额已达58%，高于上一轮41%的份额。根据该客户的采购数据看，退火设备与氧化炉的数量比例为57%、43%，北方华创在退火设备的份额为33%，而在氧化设备的份额为38%。根据Gartner数据，2018年全球半导体热处理设备市场规模为15亿美元，主要被Applied Materials、TEL、Hitachi Kokusai Electric三家公司垄断，但大陆市场的高端垄断格局正被北方华创打破。

ALD已实现销售，未来市场潜力大。根据公司公告，ALD已于2018年实现销售，而在2019年本土存储厂中，ALD的采购数量达到116台，占到CVD采购量的1/3，占所有工艺设备采购量的9%。根据ASM公告，7/5nm制程所需的ALD设备将是14nm制程的2倍，且预计2020-2021年ALD市场规模有望达到15亿美元。目前，全球ALD市场被ASM等供应商垄断，而国内ALD市场基本上被Lam Research、KOKUSAI ELECTRIC、TEL垄断。

估值：

结合以上分析及近期定增结果，我们将公司19/20/21年净利润预测从3.43/4.59/6.02亿元调整至3.09/5.77/9.01亿元，目前市值对应PE估值为159/85/55倍，但公司全面布局集成电路工艺设备且快速进入收获成长期，维持买入评级。

评级面临的主要风险：

公司研发进展不及预期，下游客户扩产不及预期。

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1、行业篇

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